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新聞動(dòng)態(tài)

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接地電阻柜微小機(jī)械敏感器
發(fā)布人:管理員   發(fā)布時(shí)間:2014-5-19
    接地電阻柜微小機(jī)械敏感器近來(lái)有把傳感器與機(jī)構(gòu)部件結(jié)合為一體的發(fā)展動(dòng)向,它將特別適合在機(jī)器人上使用。
    有人設(shè)想,在一塊半導(dǎo)體硅基片上不僅做上了傳感器和電子電路,而且做上機(jī)械元件,使之一體化。這種新型器件的制造技術(shù)是利用硅晶體的生長(zhǎng)速度的各向?qū)院碗s技分布的異存性,在硅片上打孔、劃溝,以及作出錐形、半球形等各種形狀的機(jī)械部件,可以制成閥門(mén)、棱鏡、平鏡、噴嘴、插塞、打字頭等。這種方法可以做出力、壓力、加速度、化學(xué)氣氛濃度等的傳感器。這種器件在化學(xué)分析方面有獨(dú)到之處,例如,可以把復(fù)雜的氣體色譜儀作在一個(gè)硅片上,在2英寸直徑的一塊硅片上不僅做上檢測(cè)元件,而且做上了1.5米長(zhǎng)的色譜柱和取樣裝置。
    最近研制了一種用五個(gè)這種色譜分析傳感器與微處理機(jī)相組合,做成便攜式微型氣體色譜儀。五個(gè)色譜柱具有不同的特性,組合起來(lái)能分析約一百種氣體。它在大氣分析、化工氣相分析方面有廣泛的用途。
    今后,溫度傳感器、壓力傳感器等種種不同的傳感器復(fù)合為一體,并與集成電路做在一塊,使信號(hào)數(shù)字化,甚至與機(jī)械部件做在一起,這種就能有效地完成自動(dòng)化控制的任務(wù)。
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